logo
Sales@xjoptic.com 86-21-59255328
微信
Japanese
english english français français Deutsch Deutsch Italiano Italiano Русский Русский Español Español português português Nederlandse Nederlandse ελληνικά ελληνικά 日本語 日本語 한국 한국 العربية العربية हिन्दी हिन्दी Türkçe Türkçe indonesia indonesia tiếng Việt tiếng Việt ไทย ไทย বাংলা বাংলা فارسی فارسی polski polski

スクラッチ耐性サファイア窓 モス9 半導体機器 ビューポート

品質 スクラッチ耐性サファイア窓 モス9 半導体機器 ビューポート 工場
製品仕様
原産地: 広東省、中国
ブランド名: ECER Optics
認定: ISO 9001:2015
モデル番号: SW-SEM-ハード
最低注文数量: 10個
価格: USD 8-50 / Piece
支払い条件: T/T、ペイパル、ウェスタンユニオン
補給能力: 1 か月あたり 30,000 個
製品詳細
ハイライト:

傷つきにくいサファイアウィンドウ

,

半導体機器の窓

,

モス9硬度 光学
Product Name: 傷つきにくいサファイアウィンドウ
Application: 半導体ウェーハプロセス
Hardness: Mohs 9
Material: 単結晶サファイアAl2O3
Diameter: カスタム 10mm ～ 200mm
Chemical Resistance: 耐酸性、耐塩基性、耐プラズマ性
Surface Quality: 60-40 スクラッチ・グーブ
Flatness: ラムダ/4
製品説明
スクラッチ耐性サファイア窓 モス9 半導体機器 ビューポート
半導体機器の展望台のために 設計されています プロセスの部屋では 窓はプラズマや粒子の磨き 攻撃的な清掃化学物質にさらされます窓はモース硬さ9の単結水晶のサファイアから製造されていますダイヤモンドに次いで,ガラスやクォーツのビューポットよりもずっと長い時間きれいな光学表面を維持できます.
継続的に動作するウエファー処理ツールでは,傷害に耐えるサファイア窓は,メンテナンスのダウンタイムを短縮し,検査イメージングを室内使用期間中に一貫性保ちます.半導体環境は硬さ以上の要求をします酸,塩基,プラズマ化学に対する化学的耐性,およびプロセスサイクルにおける温度変動の熱安定性も指定されています.
各窓は60-40のスケッチ・ガブ・表面品質に磨き上げられ,ランバダの平らさは4以上で,マウントフレンズにストレスの濃度を避けるためにエッジプロフィールが磨き上げられ,ベーリングされています.10mmから200mmまでのカスタム直径と真空または大気圧の評価値にマッチした厚さがあります材料の証明書と設備の資格の次元検査記録が各出荷に含まれます.
テクニカル仕様
製品名 スクラッチ耐性サファイア窓
材料 シングルクリスタルサファイア Al2O3
硬さ モス9
直径 カスタム 10mm - 200mm
厚さ 1.0mm - 8.0mm カスタム
表面の質 60-40 スクラッチ・グーブ
平らさ ランダ/4 @ 632.8nm
化学 耐性 酸,塩基,プラズマ に 耐える
適用する 半導体ウエファー加工
証明書 RoHS 準拠,ISO 9001:2015
主要 な 利点
  • モース9硬さ 粒子やプラズマによる擦り傷に耐える
  • 化学的惰性 攻撃的な室掃除化学を生き延びる
  • 熱安定ハンドル 断裂なしのプロセス温度サイクル
  • 斜面の地面縁は,取り付けフラングのストレスの濃度を減らす
  • 長寿命はビューポートの交換頻度とダウンタイムを短縮します
  • 材料証明書は半導体機器の資格を支える
  • カスタムサイズで真空と大気のプロセスビューポットにマッチします
  • ウィンドウを通してのワッフル検査のための一貫した光学透明性
半導体製造の実際の操作条件に合わせて設計されています 繰り返し開く室,プラズマ浄化,磨砂粒子の流れなどです機器サービスプログラムからのフィールドデータは,サファイアビューポートが通常,エッチと堆積ツールでクォーツを数倍上回ることを示しています工場運営者の所有コストを直接削減します
この窓は,フラットパネルディスプレイ処理,太陽電池製造,真空コーティングシステムを含む同じ厳しい環境プロファイルを共有する隣接産業にも適しています.設計 技術 者 は 組み立て 指導 を 受け て いる, 推奨されたフレンズ容量とシール材料を含むため, 摩擦に耐えるサファイア窓は,再加工なしで既存のビューポート設計に統合されます.
製品に関するQ&A
Q:半導体のビューポートは なぜ石英ではなくサファイアが必要なのか?
プロセスの室は プラズマや粒子 反応化学を生成し 素早くクォーツビューポートを 刻み 傷つけ 光路を覆いますモース 9 硬さ の サファイア は,この 損傷 に より 長い サイクル に 耐える化学的惰性により,清掃剤による劣化が防止され,視野の変化が少なく,検査条件が安定している.
Q: 窓はどんな圧力に対応できる?
圧力評価は直径,厚さ,およびマウント設計に依存する.典型的な25mmから100mmのビューポートでは,2mmから8mmの厚さが,いくつかのバーの差圧まで真空をサポートする.我々は,あなたの特定の部屋の条件のために推奨厚さ計算を提供します.
Q: 視界範囲内では反射防止の為の窓を塗装できますか?
多くの半導体ビューポートは 最大の強度のために 覆われないサファイアを使用していますが 高い伝送が必要であれば 耐久性のあるARコーティングを 観測可能な波長で 適用できます放出前にプラズマと化学的曝露を検証する.
Q: 設備の資格についてはどのような文書が提供されていますか?
各出荷物には サファイア材料の証明書,次元検査報告,表面品質記録,RoHS宣言が含まれます.合格プログラムでは,我々はまた,バッチレベルの化学的耐性テストデータと熱サイクル結果を提供することができます.
タグ:

シリカ光学サファイアドームレンズ

赤外線熱画像カメラのためのレンズ
関連している 製品
専門家にご連絡いただき、無料相談を受けましょう！

私たちの使命は、お客様がより多くの利益を得られるよう、「高品質」＆「優れたサービス」＆「迅速な配達」を提供することです。